王曦Q左Q在实验室进行科研工作?/span>
在中国，如果提到高端基SOI材料研发和业化Q业内h士都?x)提C个名字——王曦?/span>
王曦Q中国科学院院士Q我国著名半g材料学专Ӟ中科院上微pȝ与信息技术研I所所ѝ我国高端集成电(sh)路衬底材料的主要开拓者和领军人物?/span>
3?3日，52岁的他在上vU技奖励大会(x)上获得了2017q度U技功臣奖?/span>
赯Q业化先要有中国的核心SOI技?/span>
1996q_(d)博士毕业后的王曦前往Ƨ洲最大的d束材料研I基地d国罗多夫研I中心做讉K学者?997q_(d)中国U学院正在实施知识创新工E，时Q中科院上微pȝ所所长的江恒途经德国扑ֈ他，希望他回国发展。尽王曦“洪堡”访问学者研I还有一q才l束Q但他归心似，婉言谢绝了d国研I所负责人的再三挽留Q于1998q?月回国?/span>
王曦回国不久Q得知一个震惊中国材料界的消息，IBM宣布?yu)国际公认?1世纪微电(sh)子新材料SOI应用于处理器芯片生Q带动一批著名半g跨国公司q行q项技术的开发。SOIQ是Silicon-on-insulator的简Uͼ中文译ؓ(f)l缘体上的硅。国际上公认QSOI在低压、低功耗电(sh)路、耐高温电(sh)路、微机械传感器、光?sh)集成等斚wh重要应用价倹{?/span>
王曦意识刎ͼ提升我国SOI技术应用研I力度、实C业化q程q在眉睫?3岁的王曦毅然担v重QQ带领科研团队，聚焦SOI材料制备中的关键技术“离子注入”，Z快赶上国际先进水^Q夜以日地在实验室里奋斗。奋斗迎来了曙光?000q_(d)d束原位掺杂技术获得重要进展，相关论文引发国际同行高度x?/span>
王曦_(d)基础研究的科学家Q要兛_国家对业的需求，研I和国家的战略需求结合v来，他也是这么做的。让王曦和他的团队引以ؓ(f)豪的是，通过技术创新和研发Q解决了我国航天?sh)子器g急需SOI产品的“有无”问题，为我国特D领域核心元器g自主可控作出H出贡献?/span>
多年来，王曦致力于蝲能离子束与固体相互作用物理现象研I和产业转移转化q行Q在国际学术期刊?qing)学术?x)议上发表论文400余篇Q申请发明专?60余项Qƈ荣获何梁何利基金U学与技术进步奖、中国科学院杰出U技成就奖（W一完成人）(j)、上市(jng)U技q步奖一{奖Q第一完成人）(j){奖以?qing)上?jng)领军人才、全国创C先奖U号?/span>
领航Q成功实现新一代硅基材料SOI技术成果业化
如果?998q到2001q是SOI走出实验室的d阶段Q那么从2001q开始，SOI正式面向国民l济L场，“下水”了?/span>
2001q?月，Z科研技术应用于高端集成?sh)\衬底材料SOI开发，王曦推动中科院上微pȝ所孵化成立了上h傲科技股䆾有限公司。他和SOINl的5位博士一同进入公司，U学家王曦{型成事长和CEO?/span>
l过不懈努力Q研I团队开发了低剂量SOI工艺Q在国际上独创了h自主知识产权的注氧键合Simbond-SOI技术。王曦坦aQ当自己和团队经q无C奋战的昼夜，生Z个个光润无瑕、晶莹剔透的“三明治”硅片的时候，大家的幸感和激动之情溢于言表?/span>
然而，l营理企业Q光拥有技术还q远不够Q融资、设备引q、技术突破、开拓市(jng)场……所有过E都比预想的要艰难。王曦说Q每一个环节遇到的波折都以人放弃，仅融资就谈了100多家才宣告完成?/span>
凭着坚忍不拔的信念，王曦和他的团队协力奋战，同舟共济Q挺q了一个又一个风。众人划桨开大船Q终于实CSOI材料产业化，填补了国内空白。中国创造的片Q远销西方发达国家Q成功实C国微?sh)子材料的跨式发展?/span>
众望所归，“高端硅基SOI材料研发和业化”荣?006q国家科技q步奖一{奖。上h傲科技股䆾有限公司也因成功完成我国8英寸SOI材料产业化，成ؓ(f)了我国唯一的SOI材料研发和生产基地?/span>
2014q_(d)上v新傲U技股䆾有限公司和全球最大的SOI生商法国Soitec{v了合作协议，巩固了双方的战略伙伴关系Q树(wi)立了中国企业在国际上的地位。王曦至今仍记得Q当q创业初始，自己在法国曾在Soitec门口转?zhn)Q只能和门卫聊聊天的情ŞQ没惛_Q时隔多q_(d)自己能和q家行业巨头在自q国Q^起^坐，握手合作?/span>
中科院上微pȝ所所长助理、新微集团（所办公司）(j)ȝ理秦曦告诉记者，王曦作ؓ(f)企业领导人，极具创新意识Q这U创新意识不仅仅表现在技术上Q更体现在体制机制创C。他推动讄创投基金Q不q预投资专家的判断，他相信专业的人士对资本市(jng)场的熟稔E度q胜于科学家?/span>
而公司执行副总裁李炜则认为，王曦h对硅材料国际?jng)场的敏锐观察力Q他的投资决{和勇气更让Z服，在他的决{下公司成功投资布局?ơ国际收购?/span>
当前Q王曦正带领他的团队Ql行走在产业化之路上。王曦大力推动上一批半g重大目Q积极从材料、制造、设计全方位布局我国发展12英寸FD-SOI产业实现中国IC“弯道超车”的战略计划Q发h立国内最大的12英寸大硅片制造公司——上h昇半g有限公司Q成功拉出我国第一栚w质量12英寸单晶棒Q?017q销?2英寸片q?0万片Q填补我国大寸片产业I白?/span>
重QQؓ(f)张江实验室的发展而奋?/span>
王曦有很多不同的w䆾Q其中之一是中国科学院和上市(jng)人民政府联合成立的张江实验室MQ?/span>
王曦介绍_(d)2017q??6日，张江实验室正式挂牌成立，开启了上vU创中心的崭新篇章。在短短四个多月的时间里Q张江实验室各项工作取得了全方位、实质性的阶段性进展。上短激光实验装|去q实?0拍瓦攑֤输出Q入选“党的十八大以来中科?0Ҏ(gu)志性重大科技成果产出”。硬X线自由?sh)子Ȁ光装|项目立徏设，是国内迄今ؓ(f)止投资最大的重大U技基础设施。这些重大基设施和重大创新成果ؓ(f)张江实验室的和发展奠定了坚实基础?/span>
他希望，能通过自己的努力，助力上vh全球影响力的U技创新q_Q以更加开攄姿态会(x)聚各方精英，实现U技创新对国家发展的战略支撑作用?/span>
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