?html> 王曦Q专注于用硅做“三明治?清华校友M(x)

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癑ֹ清华

王曦Q专注于用硅做“三明治?/h2>
2010-06-30 |

王曦最擅长的,是用做一U“三明治”:(x)在一?.5毫米厚的片上,在距表面100U米下,注入一层几癄c뀁厚薄均匀的二氧化“夹?j)”——这是英文~写为SOI的高端集成电(sh)路硅基材料?span style="letter-spacing: 0.4pt">王曦带领他的团队Q花?0q_(d)生Z(jin)高品质的SOI材料Qƈ初步实现?jin)业化?o:p>

王曦学长2008q校?jin)回校参?983U毕?0周年zdӞ

在主楼前?983U捐赠壁d留媄(jing)

SOI是地道的高技术品。h(hun)?0元的硅片注入了(jin)q层“夹?j)”后QnL(fng)ȝ增至200元。用SOI来做芯片Q不仅速度可提?5%Q还可降低能?0%Qƈ可适应包括宇宙I间在内的很多恶劣环境?o:p>

可是Q难点就在于要将q层“夹?j)”做得均匀——稍有不匀Q整个硅片会(x)呈现彩虹般的光泽Q或“满脸”麻炏V离子注入制备SOI技术,国外一直对我国实行锁。做出高品质的国产SOI材料Q其意义不言而喻?o:p>

从上世纪80q代P中科院上冶金所Q现上v微系l所Q就开始了(jin)对SOI的研IӞ但一直停留在实验室水q뀂这意味着QSOI材料既无法批量生产,质量也不E_?o:p>

从进入清华大学vQ王曦就专注于“离子注入”技术,直到现在。从1998qvQ他带领团队׃(jin)四五q时_(d)完成?jin)材料技术工E化研究——如今的SOI晶圆片表面泛着均匀的粉艌Ӏ?o:p>

把SOI拉出研究所Q成立公司完成业化Q是王曦的一个重要{折?o:p>

“在新傲U技公司Q近癑֐员工5q内全心(j)扑在SOI的研发和生上——这是研I所无论如何做不到的Q”他_(d)刚“下”的时候,曾以为“技术ؓ(f)王”,但后来才感觉到市(jng)场、资本和理Q都非常重要。当Ӟ王曦全球跑,与飞利、烦(ch){东芝等公司一家家q行交流Q“这让我对市(jng)场有?jin)新的、更q理解。?o:p>

考虑成本、脓(chung)q客户需求……这让新傲很快有?jin)v艌Ӏ如今,新傲的品不仅满_内市(jng)场的需求,q吸引了(jin)包括飞利、东芝等大公司在内的很多国际客户。“有人预,未来10q_(d)国内的卫星都能用上SOI材料做的芯片。?o:p>

“企业化q作的好处在于,赚了(jin)钱可以l投入做更好的技术、扩大规模。现在新傲公司的讑֤比所里的好很多。”说到这里,王曦有点兴奋Q语调也随之提高。最q,新傲q研发出?jin)一独步世界的新方法——特D键合(下{W?00?/span>Q(上接W?03?/span>QSOIҎ(gu)Q可以满x车电(sh)子对于SOI材料均匀性、电(sh)学性能的苛刻要求。“一般SOI材料的‘夹?j)’不过400U米Q?.4微米Q,而这U方法可‘夹?j)’非常均匀地做厚到1?微米。?o:p>

“要不是金融危机Q新傲今q本来准备考虑上市(jng)。”n为新傲的董事长,王曦_(d)q?0q自己最大的收获Q就是高技术一定要在市(jng)Z发展Q才真正h生命力。今q?月,他出dpȝ所法h代表、常务副所长,上Q后立ȝ手推q所里另两个高技术项目的产业化进E——MEMS传感器和无线传感|?o:p>

“其实我只专长离子注入SOI”,提及(qing)当选院士的感想Q王曦说Q一个h的精力有限,只有在一个领域中持之以恒Q才能做Z些成l。“是U技成果转化成就?jin)我Q如果让我再选择一ơ,我还?x)选择走高技术与?jng)场l合的\。?/span>Q许琦敏Q?/span>

转自2009q?2?日《文汇报?

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