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执着q求 _求精

2007-05-29 |

——记82U自动化pL友景玉鹏

1982q_(d)景玉鹏从古城西安走入清华园，q入自动化系工业仪表与检专业学?fn)。大学期_(d)景玉鹏的学习(fn)兴趣之广令hҎ(gu)。在他的书桌上，可以扑ֈ从微生物、矿矛_考古、现代医学等各种书籍?SPAN lang="EN-US">

毕业后，景玉鹏被分配到武警技术学院从事火灾检传感器的开发与教学工作。这一q就是将q?SPAN lang="EN-US">10q_(d)参与了多w火及(qing)安全工程设计。多q的教学和科研经验他深切体?x)到我国的火灾传感器基础技术和工艺与国际先q水q有相当大的差距。于?SPAN lang="EN-US">1996q_(d)景玉鹏自Ҏ(gu)到日本，一边工作一边开始学?fn)研I传感器的基技术?SPAN lang="EN-US">

初始Q景玉鹏在大阪府立业综合技术研I所Q以半导体^面工艺技术，研究开发机器h微米寸的气敏传感器阵列。后来，景玉鹏到姬\工业大学从师高山z一?/st1:PersonName>先生Q开始深入研I单晶硅的碱性异向腐蚀d剂的影响。他首次发现对提高腐蚀界面光洁度的影响Qƈ取得了工学博士学位?SPAN lang="EN-US">2003q日本富士通公怾?SPAN lang="EN-US">FBAR频滤L器巨大的市场回报Q在明石研究所成立RF MEMSdl，景玉鹏加入ƈ负责可变?sh)容、电(sh)感和静电(sh)频开关的开发研制工作，q很快提出无应力单晶单臂梁l构开养I成功地解决了薄膜工艺的应力变形问题。ƈ?SPAN lang="EN-US">SOI上取得了实验的成功。景玉鹏在日本近十年的时间里l历了技术和产业界的全面砺?SPAN lang="EN-US">

2 0 0 5 q_(d) 景玉鹏怀着巨大的爱国热情毅然回国， 加入中国U学院微?sh)子研究所Q?担Q研究员， 潜心指导数名博士研究生，?SPAN lang="EN-US">M E M SQ?SPAN lang="EN-US">MICROELECTRO MECHANICAL SYSTEMSQ在打印机喷头和汽R加速度传感器领域应用广泛）(j)?SPAN lang="EN-US">RF MEMSQ利?SPAN lang="EN-US">MEMS技术开发射频器件的技术）(j){高技术前沿方向上l箋从事研究工作。他q将RF MEMS的单晶硅单臂梁结构开兛_展成为推拉撬板式l构的开养I从根本上解决了现频MEMS开x有恢复力的世界性难题，q在国内甌了两专利?SPAN lang="EN-US">

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