3?3日上午，在上市U学技术奖励大?x)上Q王曦院士获颁上市U技功臣?/span>
在许多hgQ中U院院士、中U院上v微系l所所长王曦既是一位具有全球视野的战略U学Ӟ也是一位开拓创新而又务实的企业家?/span>
他带领团队制备出了国际最先进水^的SOI晶圆片，解决了我国航天电(sh)子器件急需SOI产品的“有无”问题，孵化出我国唯一的SOI产业化基圎ͼ实现了微?sh)子材料的跨式发展?/span>
他在上v牵头推进了一批半g重大目—?2英寸集成?sh)\片目有望填补我国大尺寸硅片业空白；存储器和硅光子目Zh来微?sh)子技术的差异化发展提供了新思\Q致力于“超摩?dng)”技术创新和产业化的上v微技术工业研IQ已成ؓ(f)上v全球U创中心W一个启动的研发与{化功能型q_?/span>
在今天召开的上市U学技术奖励大?x)上Q王曦荣获上市U技功臣奖?/span>
相当于从巴黎CL(fng)一ơ飞行，振动q度不能过1.5厘米
SOI技术被UCؓ(f)“二十一世纪的硅集成?sh)\技术”，王曦1987q从清华大学工程物理pL业后Q一直从事相关研IӞ可谓三十q磨一剑。说到这一技术，王曦打了个比方：(x)“这像是三明治Q在两层的中间Q包裹着一层二氧化。”最上面的硅既要薄，q要均匀Q比?2寸硅片的均匀度，相当于从巴黎CL(fng)一ơ飞行，其振动幅度不能超q?.5厘米?/span>
王曦手捧着8英寸片
2016q?月，搭蝲了SOI芯片的新一代北斗导航卫星发成功，该芯片可以预防卫星的“大脑”Ş成“脑血栓”。空间辐会(x)对卫星造成影响Q王曦团队制备出的国际一的SOI晶圆片，解决了这一问题?001q?月，王曦提出把这一技术推向市场，成立了上h傲科技股䆾有限公司Q仅用了5个多月，建成了我国第一条SOI生Uѝ这引v了美国硅谗半g商业新闻》的注意Q他们惊|(x)中国出现了一个现代化的SOI工厂。该Ҏ(gu)术在2006q获得国家科技q步奖一{奖?/span>
除了在空间的应用Q上微pȝ所q在2015q研制成功了当时世界最高集成度的SOI光芯片?/span>
~少12英寸大硅片，集成?sh)\产业只能停留在中低端水q?/span>
王曦喜欢下围，因ؓ(f)只要善于谋篇布局Q做的“势”就?x)越来越大。在推进上v半导体业发展这盘“棋”时Q王曦一直在应势布局?/span>
我国每年要花?千多亿美金进口集成电(sh)路，q远过原a(b)q口。就集成?sh)\刉而言Q我国一个月要消耗几十万块硅片，能自L供的仅仅几万片。目前全球仅Ƨ美日韩的五家企业有能力量12英寸大硅片，我国市场100%依赖q口。缺这一材料Q我国集成电(sh)路业就q只是停留在中低端水qI成ؓ(f)“中国制造”之痛。审时度势之下，2013q?月，王曦和中芯国际创始h张汝京博士共同徏aQ在上v启动12英寸大硅片的研发。ؓ(f)填补q一产业I白Q上h昇科技有限公司?014q?月成立。仅用一q多的时_(d)上v新昇完成厂房徏讑֒讑֤安装?016q_(d)上v新昇拉出国内W一?2英寸高质量晶，2017q下半年大硅片量产，销售近10万片?/span>
每一ơ布局“落子”，都是对行业的深刻z察。硅光子Q最早可用于光通讯Q现在可用于无hN?008q很多hq不看好q一方向Q在l过调研之后王曦予以坚定投入Q如今这一q_成ؓ(f)国际上第三个专用的硅光子工艺q_Q传感器是物联网技术中重要而又薄弱的一环，于是专注传感器芯片的矽睿公司应运而生Q以往从实验室成果到量产，中试是一道“槛”，于是国内首条全球领先?英寸“超摩?dng)”研发中试线启动q营Q助d新研发；d因存储器涨h(hun)Q国内很多企业遭受损失，于是d布局下一代品磁存储器芯片技术的研发?/span>
探烦企业化\径，跨越U技成果转化“死亡之谷?/span>
“我q不‘疯狂’科学家Q相比基研究Q我觉得自己更擅长业化。”王曦告诉解放日报·上观新闻记者。这位科学家Q确实有着不一般的企业家基因?/span>
曄在硅谷创办了两家公司的杨潇在创徏上v微技术工业研IӞ为是否要企业化运作感到纠l，当时最大的的困隑ְ是经贚w题，而最单的办法是成立事业单位。王曦却下定军_要探索一条企业化的新路径Q来跨越U技成果与业界之间的“死亡之谷”。如今这一共性化技术^台已建成产业加速的生态链Q不仅被上v认可Q还在全国得到推qѝ短短数q_(d)亦从最初完全由政府投入Q到85%的收入来自业化?/span>
王曦Q中Q工作照
上v业投资有限公司执行副总裁李炜与王曦共?0q_(d)对其q筹帷幄的能力感佩不巌Ӏ?001q王曦带?个博士创立了新傲公司Q当时的家底?300万，现在的市值是13亿，增加?00倍；2014q_(d)全世界的片处于亏损低谷Q王曦带着团队为新昇公司的融资“差点跑断腿”。如今新昇公司月产数万片300mm片Q预计明q的产能d，未来几年提升到月100万片Q?016q_(d)占有全球高端材料市?0%份额的法国公司SoitecQ由于副业经营不善濒临破产，王曦看中其硅材料的生产能力，׃L(fng)产业投资有限公司对其参股。当时的股h(hun)成本?.2Ƨ元Q现在最高时涨到?0Ƨ元Q投资回报率?00%。另一家全资收购的芬兰公司OkmeticQ去q则取得了最好的盈利水^Q未来三q它的规模将扩大一倍。去q?月，上v业投资有限公司聘请了“半g领域最厉害的h”、美国MEMC?sh)子材料公司前首席执行官Nabeel Gareeb先生Q可谓大手笔?/span>
一直有个梦惻I让科学家心无旁骛做研I?/span>
d9?6日，张江实验室正式挂牌成立，王曦担Q张江实验室主仅R一接到q个dQ他p赴美国和德国的国家实验室学习(fn)考察。这两天Q又忙着和法国国家实验室{订战略合作协议。张江实验室初期拟采取?+2+1”的布局Q?”指光子U学大科学设施群?qing)相兛_研究Q?”指生命U学、信息技术两大攻关研I方向；?”指生命U学与信息技术交叉方向——类脑智能?/span>
“我一直有个梦惻I让科学家心无旁骛做研I。接下来Q张江实验室?x)有许多的体制机制创斎ͼ包括U研l费的用。”王曦说?/span>
王曦比过L加忙了Q同事们形容他的工作节奏是?+2”“白加黑”，凌晨两三Ҏ(gu)C发来的邮件再正常不过。ؓ(f)了应对工作压力，他尽可能每周打一ơ羽毛球Q已l坚持了15q?/span>
“正是因Z国的蓬勃发展Q才成就了上微pȝ所走过的传奇之路。”王曦说Q当qؓ(f)了把SOI晶圆片卖出去Q他们找到法国知名公司Soitec惛_谈合作，l果Ҏ(gu)Ҏ(gu)不予理睬Q只能在公司门口留个合媄。如今，王曦成ؓ(f)了这家公司的董事?/span>
q往已经归零Q明日征途O漫。“我以前是无知无畏，现在虽然有困难，但看C方向Q也更加有Ȁ情。?/span>
王曦?/span>
中国U学院院士，我国著名半导体材料学专家Q高端集成电(sh)路衬底材料的主要开拓者和领军人物。现ZU院上v微系l与信息技术研I所所ѝ中U院上v高等研究院院ѝ张江实验室MQQ中国共产党W十?ji)届中央委员会(x)候补委员Q中国科学技术协?x)副dQ亚z科学理事会(x)候QdQ上市决策咨询委员?x)委员?/span>
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